1、精密加熱臺產(chǎn)品特點
1.1、多種控溫方式,溫控精度為±0.1℃;
1.2、可同時顯示設(shè)定溫度和實際溫度,升溫速率可控,最高溫度可達350℃;
1.3、加熱板加熱面積大,均勻性高;
1.4、結(jié)構(gòu)簡單,可靠性高,元器件均做防腐蝕處理;
1.5、具有樣品升降功能,適用多種尺寸樣品。
2、TC3012-TB 精密加熱臺參數(shù)表
項目 | 技術(shù)參數(shù) | 備注 |
溫度范圍 | RT~350℃ | 1.觸摸屏控制,頂針升降 2.可同時加熱4片4寸硅片,兼6寸和B寸硅片 |
加熱面板尺寸 | 300*300mm |
加熱面板材質(zhì) | 鋁合金(高溫陶瓷漆面) |
控溫方式 | PID+液晶數(shù)顯(配套上位機軟件控制) |
可編輯溫度曲線段數(shù) | 40段 |
控溫精度 | ±0.1℃ |
溫度穩(wěn)定性 | ±0.1℃ |
溫度均勻性 | ±3℃(200℃) |
升溫速率 | 1-20℃/min,可控 |
溫度傳感器 | K型熱電偶 |
冷卻方式 | 自然冷卻 |
頂 針 | 12個,可升降,升降距離:30mm |
電 源 | 220V/50HZ |
加熱功率 | 3.2KW |
加熱臺外觀尺寸 | 380*590*198mm |
熱臺凈重 | 26KG |